二手 RIBER 49NT #9103304 待售

RIBER 49NT是为半导体材料和器件研发而设计的分子束外延（MBE）设备。它是一个分子水平的沉积系统，一次将一个原子沉积在基质表面上，形成结晶材料的薄层。该单元由沉积源、自动快门机和射频等离子体源组成。该工具有两个模块，包含两种不同类型的积液细胞，以同时沉积多个产物。主要成分由四个Knudsen电池（K-cells）组成，用于Ga和Al的顺序沉积，作为III-V基团半导体材料的构件。第二个模块包含两个Knudsen电池（C-cells），其中Te、Sb、In被沉积以形成II-IV型合金和合金。提供了一个自动射频快门设备，用于控制三-V和二-IV材料按任何所需顺序沉积的快门。高压射频等离子体源有助于降低基压，提高晶体质量。设备中内置了原位晶体生长监测模型。安装在腔室中的AFM用于监控晶体在符文中的生长,以便进行质量控制。该系统还允许在晶体生长过程中控制晶体取向（欧拉）。此外，封装还为样品的热、光、光和电特性提供了排气装置。该机设计用于超高真空，底压<5 x 10-11 Torr。工具的温度范围介于RT和1000˚C之间；一个超高真空加热器有助于达到1000˚C的温度。该资产还配备了用于在模块之间传输晶圆的机械臂。49NT用于需要开发和研究半导体材料和器件的各种行业。它是研发项目的重要工具，被认为是市场上最先进的MBE系统之一。