二手 VARIAN / VEECO GEN 2000 #9064832 待售
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VARIAN/VEECO GEN 2000是一种用于制造高端半导体材料的分子束外延(MBE)设备。这种VEECO系统为用户提供了一种高精确度的高质量薄膜原子薄层生长方法。这允许增强半导体属性控制和设备性能。MBE过程从一束高温分子粒子穿过管子开始,在管子里它与一种基材相互作用,将均匀、原子薄的材料层沉积到表面上。这个VARIAN单元配备了一套先进的组件,每一个组件的设计都是为了降低污染风险,控制增长速度,产生均匀的层。这包括高纯度碳弧灯源、能够对基板进行全球轰击的电子枪、具有独立加热和冷却能力的10区炉以及用于生长控制的多种气体等特点。VARIAN/VEECO机器用途广泛,可以根据用户的要求进行编程。它提供从超低功率到高功率的可变功率强度,跨越短时间到长期运行,并允许不同材料层在广泛的温度范围内增长。它还能够提供出色的基板方向控制和运动系统,能够沿着生长平面应用均匀的基板运动。VEECO GEN 2000的数据采集系统还为用户提供了对其薄膜层前所未有的控制,提供了有关增长率和偏离理想工艺参数的准确实时数据。VEECO工具界面集成了一个大型的交互式图形显示、软件控制的通信以及多个数字输入和输出,让用户完全控制自己的流程。综上所述,VARIAN资产VARIAN GEN 2000为高端半导体材料的发展提供了无与伦比的精确度和准确性。广泛的组件,加上先进的数据采集和可编程功能,为用户提供了对薄膜层增长的完全控制,以提高设备性能。
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