二手 VARIAN / VEECO GEN II #9205114 待售

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ID: 9205114
晶圆大小: 2"
MBE System, 2" Sources: 2.75" Flange Wagon wheel prep chamber: Auger analysis Out-gassing: Auxiliary chamber Manual valve arsenic cracker Sources: Al, Ga1, Ga2, In Si & Be Dopant sources Functional rheed and QMS (3) Ion pumps Used for InAlGaAs Cryo pump and compressor Ti ball pump Bake out panels Load lock: Turbo pumps Scroll pumps.
VARIAN/VEECO GEN II是一种分子束外延(MBE)设备,为纳米级材料的沉积和表征提供卓越的性能和多功能性。MBE利用高度控制的环境,以原子尺度精度蒸发和沉积材料薄膜,使其成为制造光电、磁和半导体结构的首选技术。VEECO GEN II MBE系统包括一个超高真空室和一系列沉积源,可用于薄膜沉积物料的输送。传递可以通过热蒸发或电子束辅助蒸发,以及化学束外延(CBE)来实现具有多种元素的复杂溶液的生长。通过低能离子束可以达到高速率致密,而通过离子轰击溅射可以达到超高纯度。VARIAN GEN II以双源配置构建,以支持最多四层系统的沉积。该单元也足够强大,可以容纳多达六个沉积源,从而能够沉积复杂的结构。此外,该机器还包括一个自动气体输送工具,可用于在沉积过程中添加不同的气体,如氧气、氮气和碳。GEN II强大的控制软件意味着它可以实现极其精确的均匀性和对沉积过程的控制。控制软件可以对每个工艺的精确参数进行编程,从而完全控制复杂的纳米结构。此外,它还配备了一系列先进的原位表征能力。这包括一个光谱仪和量子效率检测器,可以用来测量沉积材料的厚度、组成和性质。VARIAN/VEECO GEN II是先进的MBE资产,非常适合光电、纳米电子、纳米光子等领域的研发等先进应用。该模型提供卓越的性能和多功能性,使精密纳米结构的制造具有原子尺度精度。
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