二手 VARIAN / VEECO GEN II #9215068 待售

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ID: 9215068
MBE System P/N: 981-4001 Includes: Main chamber Electronics rack Plate Removed parts: RHEED Gun Source cells Transfer arms.
VARIAN/VEECO GEN II是一种分子束外延(MBE)设备,在多种应用中为高品质的薄膜生长而设计。它使用真空室和电子束和元素粒子的组合,如硅和​​氙来生长这些材料的原子层薄膜。VEECO GEN II是独一无二的,因为它利用一种称为电子束蒸发的独特技术来沉积材料的薄膜。这种电子束是在对材料施加电场时产生的,导致材料的分子在粒子束中被电离或加速。薄膜生长过程从材料被泵入真空系统开始。这种材料形成源材料,加热到特定温度,这使得原子可以从源材料表面剥离。同时,电子束引导和控制源材料沉积到薄膜生长的基板上。随着薄膜厚度的增加,可以通过在单元中引入附加元素(掺杂剂)来调制生长,从而影响薄膜的应力、电阻率、带隙、介电常数等特性和电特性。VARIAN GEN II还配备了两台真空泵,以及一台VEECO Opticron成像机,可以让用户监控薄膜的生长。它还包括一个用于测量样品表面质量的表面分析仪和一个Load-Lock工具,允许使用更高的沉积速率、更高的质量和可重复的实验来处理样品。GEN II是最先进的MBE资产,可以帮助科学家和工程师为从微电子到太阳能的各种应用创造高质量的薄膜。对于那些为项目寻求高质量薄膜生长的人来说,它是一个非常宝贵的工具,并被广泛用于研究,包括对应变薄膜结构的测量、界面研究、掺杂研究等等。
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