二手 VARIAN / VEECO GEN II #9225851 待售

VARIAN/VEECO GEN II是一种分子束外延设备，提供了生产高品质薄膜半导体材料的可靠途径。该系统由一个发生反应的真空室和一系列独立但相互关联的组分组成。腔室包括基板卡盘、激光热源、快门机构、气体控制单元、沉积头和快速淬火装置。通过基板卡盘，可以固定一个基板样品，如硅片、玻璃板或砷化氙片。激光加热源可调节至所需温度高达1000 °C，产生足够的热量，以促进外延生长。快门机构允许精确控制反应物束，并与激光热源配合工作，使热量在整个基板上均匀分布。气体控制机使用一个单独的气箱，允许沉积在低真空压力下发生。这确保了有效的MBE工艺,污染最小,表面粗糙度最小。可以对沉积头进行调谐，以提供外延膜几乎所有所需的成分。根据用户的需要，制造层的范围从纳米到微米不等。快速淬火装置像快门一样工作，快速、精确地停止胶片沉积，以避免不必要的相互作用，确保胶片沉积均匀。VEECO GEN II为生产高品质的薄膜半导体材料提供了可靠准确的方法。此外,此工具还可以生成不同厚度、组成和表面粗糙度的层,以实现高级外延增长。简而言之，VARIAN GEN II是生产薄膜半导体材料时需要精度和可靠性的用户的理想解决方桉。