二手 VARIAN / VEECO GEN II #9225866 待售

VARIAN/VEECO GEN II是一种分子束外延（MBE）设备，用于生产高精度、单晶的复合半导体薄膜，具有优越的纯度和对薄膜厚度的原子尺度控制。VEECO GEN II配备了两个积液电池-一个用于III组元素,另一个用于V组。电池安装在三轴机械手上,以优化底物温度和通量。基板加热至高达750°C的温度，而快门则用于中断来自独立于操纵器的积液池的通量。该系统还配备了反射高能电子衍射（RHEED）单元，允许即时通量速率和几何优化。这样可以更好地监控最终产品的增长并确保更高的质量。另外，VARIAN GEN II有一个低能离子源，有助于减少薄膜中的缺陷。GEN II还配备了四室真空烤箱，可在保持清洁和超高真空环境的同时实现高效的薄膜生长。四个腔室通过锁载口连接到真空脱气腔室。这个腔室再连接到涡轮分子泵和涡轮阻力泵组合，提供材料生长所需的超高真空环境。VARIAN/VEECO GEN II还提供了广泛的其他组件，如残留气体分析仪、微波电子回旋共振等离子体源和环形双束蒸发器。总体而言，VEECO GEN II MBE机提供了独特的柔韧性和控制性组合，以支持高效生产具有优异结构和电气性能的高质量、均质半导体薄膜。它以保持闭环控制工具的能力而受到高度重视，使所开发的半导体材料能够精确、一致地生长和均匀。