二手 VARIAN / VEECO GEN II #9235092 待售

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ID: 9235092
MBE system AS Cracker cell Molly control system Dry scroll pump station K-Space REED screen camera and software RGA CBr4 for carbon As, SUMO Ga, 2 Al, In, CBr, and 2 doping cells (Be/Si)
VARIAN/VEECO GEN II是一种先进的分子束外延(MBE)设备,专门设计用于半导体材料的研究和制造中的薄膜沉积。该系统由多种蒸气源、不同温度和自动化过程组成,可实现薄膜的精确生长。它非常适合半导体和超晶格的单层、多层和/或复杂合金薄膜沉积。VEECO GEN II由一个以1 x 10-10 Torr的底压为动力的主室组成。主室内部是加热的基板架和电子束枪;电子枪高度可调,可以以不同角度和距离倾斜。此外,VARIAN GEN II还包括一个计算机控制的气体处理单元,该单元具有许多在受控压力、流量和温度下独立的气源。每个源都包含多个百叶窗,以独立调节通向主室、来自主室和主室内的流量。它能够沉积单层、多层和复杂的合金,需要精确和精确。沉降速率控制和通量均匀性可通过精密的淋浴头设计实现.它接地的屏蔽层保护底物免受可以从蒸气源散射的离子和粒子的影响。此外,GEN II与各种薄膜分析工具兼容。该机器进一步为广泛的研究需求提供了必要的灵活性和便利。这是通过它的可伸缩平面设计、坚固的气体处理工具以及电子枪在主室周围自由倾斜和移动的能力来实现的。它的设计还允许一个自动化的过程,这使得技术人员既可以存放薄膜,也可以用相同的资产进行分析。最后,VARIAN/VEECO GEN II是精密薄膜沉积和薄膜分析的理想模型。它独特的特点和健壮的设计使它可以用于各种研究应用和过程。设备的可伸缩平面设计、精确的温度控制和自动化的工艺,可以为复杂半导体材料的制造提供精确的薄膜。
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