二手 VARIAN / VEECO GEN II #9238934 待售

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VARIAN / VEECO GEN II
已售出
ID: 9238934
晶圆大小: 4"
MBE System, 4".
VARIAN/VEECO GEN II是一种分子束外延(MBE)设备,用于将有机和无机材料的薄层沉积在基板上,使研究人员能够以惊人的控制和精度产生高精度的纳米结构。该系统能够沉积从几埃厚到大约一微米厚的层,可用于多种材料,包括半导体、金属、聚合物和纳米结构。MBE系统的工作原理是在超高真空条件下在高温下蒸发材料,然后将蒸气沉积到冷却的基板上。在VEECO GEN II MBE单元中,真空室分为负载锁、主室和基板制备室三个部分。样品被放入负载锁,环境被泵送到所需的真空水平,然后样品被转移到主室。一旦在那里,底物被加热到所需温度,并引入蒸发剂,通常是通过克努森电池或电子束。由于材料在腔室内汽化,它指向基板表面。然后将沉积的膜慢慢冷却,退火,以形成所需的纳米结构。机器还包括许多功能,可以更好地控制沉积和薄膜形成过程。例如,VARIAN GEN II有一个高精度的斩波器工具,可以改变薄膜的厚度和沉积速率,以及样品旋转阶段,还有一个气体输送资产,可以精确控制腔室中的气体环境。此外,该模型包括一系列光束百叶窗,允许无机或有机金属沉积,或精确控制沉积中物种的分布。GEN II MBE设备是研究人员希望为其纳米结构增加精度和控制的宝贵工具。它的功能为用户提供了创建具有严格控制的高性能纳米结构的能力,允许在微电子学、光子学和材料科学等领域的应用。
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