二手 VARIAN / VEECO GEN II #9257237 待售

VARIAN/VEECO GEN II是为超导体、半导体、铁磁学等低温器件的生长而设计的分子束外延（MBE）设备。它由一个特高压（超高真空）室、一系列沉积源和一组质量分析仪组成。特高压室的设计目的是在低于2 x 10^-7 Torr的压力下维持其内部环境，远低于常规实验室的可用压力。这样做是通过保持室内完全没有颗粒物，同时依靠泵和连续气体的结合来维持低压。然后由控制系统监视和管理室内的粒子计数。腔内的沉积源允许GaAs、InP、Si、Ge等材料的受控生长。这些源由多艘石英船（固体源）组成，这些船靠在加热器上以保持设定温度和电阻蒸气源。这些船在x、y和z平面上是可调的，允许对层厚度进行微调。使用热电偶装置精确控制船的温度，校准为低于200 °C。质量分析仪用于残余气体分析或室内源的直接通量测量。它由各种电离源组成，这些电离源通过差动泵送的侧端口直接与特高压室连接。此工具可以侦测到O2、H2O、空气等多种物种。特高压室、沉积源和质量分析仪都连接到计算机操作站。该站包含一个数据采集资产和一个控制接口，允许整个沉积过程的自动化。该模型具有七种配方控制配方和广泛的可自定义参数，使其适用于种类繁多的基材材料和器件类型。VEECO GEN II是先进的MBE设备，仍然是许多低温装置领域研究人员的选择。它强大的UHV要求、沉积源和气体分析能力相结合，可以进行广泛的设备相关实验，使其成为研究和设备制造的宝贵工具。