二手 VARIAN / VEECO GEN III #9197483 待售

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ID: 9197483
MBE System (12) Source ports RHEED / RGA.
VARIAN/VEECO GEN III分子束外延(MBE)设备是一种高精度的研究工具,用于在基板上制造薄膜。这一技术最常用于材料沉积在硅、砷化的、氧化锌等多种底物上。该系统能够沉积只有几纳米厚的材料层,比其他沉积过程具有更大的均匀性和准确性。这使得VEECO GEN III成为创建小型设备或组件的理想单元。该机由蒸发器、快门、气体快门、石英晶体监控器、电阻加热器、定向质量流控制器和电源组成。蒸发器用于保存和加热要沉积在基板上的材料。快门控制材料从蒸发器通过时的流动。气体快门被用来控制正在沉积的材料中包含氮气和氢气等气体。石英晶体监测器对被沉积材料的厚度和均匀性提供反馈,而电阻加热器则用于将蒸发器保持在给定温度。定向质量流控制器用于调整材料的压力和速度,而电源则用于为刀具组件提供适当的电压和电流。VARIAN GEN III资产还配备了多种安全功能,包括蒸发器过载保护、化学安全壳用离子泵、颗粒安全壳用过滤泵。该模型是高度自动化的,其软件设计用于对所有设备部件进行高效控制。该软件还能够控制各种其他组件,包括温度分析和基板定位,以创建复杂的沉积模式。GEN III系统由于沉积半导体等材料层的精度和精确度,被认为是领先的沉积技术。这个单元被广泛用于研发,并被用于包括半导体芯片和光学元件在内的许多产品的创作。它能够创建小规模和复杂的组件,这使其成为先进技术开发的宝贵工具。
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