二手 VARIAN / VEECO GEN III #9239247 待售

VARIAN/VEECO GEN III是一种先进的分子束外延（MBE）系统，用来将薄半导体膜沉积在各种底物上。它由四个相互连接的腔室组成，配置为执行低温同外延生长、氧化物和氮化物，以及其他先进的外延过程。第一室容纳一个多调试器源。它配备了多达六个单独隔离的水平或调试资源，以防止其他材料污染基板。多源可以在电流、功率和频率上变化，以适应所需的沉积过程。该室还配备了电子束快门、隔热罩、肖特基抑制器等必要的源配件。第二个腔室包含基板支架，是一个垂直旋转组件，最多可容纳四个基板。它还装有一个负载锁，样品可以加热到-100 °C至800 °C的温度，以便进行先进的生长过程。两个带快门的操纵器和一个主快门用于保护基板，而调平器确保均匀的基板加热。第三室为生长室，配有加热灯丝、八个气体喷射器和一条冷冻线。灯丝的设计目的是为300至900°C的生长温度提供必要的能量。气体喷射器连接到气体面板，用于将源气体和掺杂气体输送到生长室。冷冻泵送管线用于通过抽出残留气体来维持低背景压力。第四个腔室是结果腔室，所得到的薄膜是特征的。该室配有用于物种鉴定的四极质谱仪（QSMS）和用于成分分析的残留气体分析仪（RGA）。它还包括一个自动样品转运站，用于在一个单独的光显微镜室内检查晶片。VEECO GEN III是为运筹学目的而设计的先进MBE系统。它的多个腔室、最先进的组件,以及先进的增长过程的可用性,使该系统成为高通量沉积和过程开发的理想之选。