二手 VEECO Gen II #293627901 待售

VEECO Gen II
製造商
VEECO
模型
Gen II
ID: 293627901
MBE Systems.
VARIAN/VEECO GEN II是一种尖端分子束外延(MBE)系统,旨在实现高纯度材料薄膜的沉积,对材料成分和厚度的亚纳米精度进行精确控制。它结合了专门的硬件组件、高级软件和经过精细调整的过程,以可靠的一致性确保层的增长。VEECO GEN II有几个关键组成部分。该系统的基础是真空室,以及用所需的加工气体排空和回填该室所需的设备。室内有一个基板加热器,用于对要沉积的材料提供精确的温度控制。电子束枪用于提供电子束,以帮助促进真空室内材料的解吸、沉积和/或图样化。电子束枪也可用于改变电子束的剂量或强度,控制层生长的某些性质。另外,VARIAN GEN II包含了几组积液细胞,这使得气体的元素来源(如和砷)可以被注射到沉积室中。这些电池具有精确的温度控制器和狭缝准直组件,以确保对材料的微观结构和厚度的精确控制。GEN II还有几套可以打开或关闭的快门组件,以精确控制进入沉积室的物料数量。VARIAN/VEECO GEN II利用"单一循环"的方法进行层的生长:腔室、基质和源全部循环在一起,为生长的每一层提供完美的控制和均匀性。腔室可以用液氮加压固定,增加了吞吐量和对生长速率的控制。VEECO GEN II也有一个完全自动化的"配方"方法,这意味着用户可以输入所需的层参数,VARIAN GEN II将自动处理存放该层所需的所有过程步骤。MBE GEN II是现代薄膜沉积系统的缩影。它允许精确的层级增长和对材料参数的控制,同时通过全自动操作提供高吞吐量。
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