二手 VEECO Gen II #9080731 待售

VARIAN/VEECO GEN II是一种分子束外延（MBE）六室设备。该系统为电子器件、半导体异质结构和纳米级结构等应用提供了薄膜材料的增长。该单位由几个组成部分组成，每个组成部分都有特定用途。这些组件包括一个冷陷阱、一个蒸发器、一个沉积室、一个特高压快门、一个He等离子体源、一个高真空泵装置、一个涡轮泵装置、一个等离子体机器以及一个I/O控制和接口。该工具首先将基板引入冷陷阱,在那里进行冷却过程。这样可以在基板上均匀分布温度。一旦基板处于预定义温度，蒸发器就会给材料充电，准备加热并蒸发。蒸发材料后，新材料在沉积室中沉积到基板表面。气体从特高压快门引入腔室，之后基板再次慢慢加热，使新材料沉积到基板上。这是用加热底物和材料原子的He等离子体源完成的，然后由rf等离子体引导并聚焦于底物。为了提高薄膜的质量和可重复性，使用超高真空来排除任何不需要的气体或颗粒进入沉积室。反过来，涡轮泵资产被用来从腔室中除去任何蒸气和不希望得到的物质。为了控制沉积过程的参数，例如温度和时间，使用I/O控制和接口向模型发送命令和数据。设备可以通过图形用户界面进行操作和监控，以帮助提高薄膜生长的准确性和可重复性。总体而言,VEECO GEN II是一个出色的MBE系统,它允许以高精度、精确度和可重复性增长薄膜材料。凭借其组件和高级功能,该设备非常适合各种薄膜应用。