二手 VEECO Gen II #9359602 待售
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ID: 9359602
晶圆大小: 2"
MBE System, 2"
(8) Sources:
(7) 2.75" Flanges
4.5" Flange
Indium-free (6) sample holders with profiles
Substrate heater: Up to 900°C
Substrate manipulators:
Power supply
Temperature controller
Servo motor control unit
Clean chamber
Effusion cells
(2) Valve crackers
RF Plasma source: Nitrogen / Oxygen
Growth chamber pumps:
Ion pump: 400 l/m
Cryo pump, 10"
Prep chamber pumps: Ion pump
Load lock pumps: Sorption, mechanical, turbo pumps
(3) Ion gauges and controllers
RHEED and QMS Systems
Pyrometer
Computer
Panels.
分子束外延(MBE)是一种复杂的薄膜沉积工艺,用于为各种微电子器件应用创建原子精密的材料层。VARIAN/VEECO GEN II MBE设备是一种功能齐全的MBE机器,专为大学和商业部门的研发实验室和制造商设计。通过提供对许多环境参数和基板位置的精确控制,该MBE系统使用户可以管理从低压到超高真空的一系列沉积过程。VEECO GEN II MBE是一个四源、倾斜源的单元,有两个专用的V组和一个专用的III组低压源(分别是和砷)。第四个来源是针对GaAs及相关合金生长进行优化的超高真空源机器。大型机气源阀使底物能够快速清洁地进出MBE室,而内置的安全联锁工具则监测资产状况,以确保安全运行。精确的基板定位由线性操纵阶段提供,可集成到各种MBE装卸源中,确保准确性和可重复性。此外,VARIAN GEN II还包括具有热电偶灵活性的手动和闭环温度控制。利用激光增强型多脉冲四极质谱仪进行残余气体分析,以提高精度和速度。GEN II MBE模型具有多种控制和自动化功能,旨在提高用户体验的效率。这包括允许设置和控制的用户友好图形用户界面(GUI)。此外,该MBE设备还具有多种预先编程的配方协议,以实现优化的增长和可重复性。总体而言,VARIAN/VEECO GEN II MBE为用户提供了一个高性能和精确的系统,用于创建原子精确的材料层。它提供卓越的温度控制、精确的基板定位、闭环操作、增强的安全互锁单元和气源阀,以及高效的GUI控制和自动化。VEECO GEN II MBE机器具有广泛的特点和满足尖端技术要求的能力,是许多研究和制造项目的重要工具。
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