二手 VEECO Gen II #9359604 待售
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ID: 9359604
晶圆大小: 2"
MBE System, 2"
With auger analysis
(8) Sources: 2.75" Flanges
Indium-free (6) sample holders with profiles
Substrate heater: Up to 900°C
Substrate manipulators:
Power supply
Temperature controller
Servo motor control unit
Clean chamber
Effusion cells
Wagon wheel prep chamber
Growth chamber pumps:
Ion pump: 400 l/m
Cryo pump, 10"
Prep chamber pumps: 220 l/m Ion pump
Load lock pumps: Sorption, mechanical, turbo pumps
(3) Ion gauges and controllers
RHEED and QMS Systems
Pyrometer
Computer
Panels.
分子束外延技术是一种精密控制层厚、均匀性和组成的薄膜材料的先进技术。VARIAN/VEECO GEN II是一种最先进的分子束外延设备，提供了增强的性能和多功能性。VEECO GEN II旨在实现比传统和现有分子束外延系统更高的增长率,同时提供对层厚度、均匀性和组成的卓越控制。VARIAN GEN II采用三重金属三源（TMTS）配置,由三个独立的可蒸发材料来源组成。借助TMTS、超低掺杂分数、高面积材料均匀性和可调增长率,客户可以定制其设备设计以获得最佳性能。此外，TMTS的替代源臂允许添加更多的反应物材料来源，以提高组成灵活性和多层增长。GEN II还配备了实时原位监控系统和计算机控制的快门组件，提供了对胶片生长的更多控制。实时单元监控薄膜厚度、均匀性和掺杂水平，允许对材料沉积过程进行优越的控制。快门组件可用于遮蔽选定的沉积区域,提供对杂质浓度、层均匀性和组成的更多控制。除了提高性能外,VARIAN/VEECO GEN II还提供卓越的环境稳定性和清洁度。该机配备了超低除气超高真空（UHV）组件，减少了污染物沉降在晶圆上的机会。此外，VEECO GEN II还具有气束叶轮，有助于消除不良尘埃颗粒的形成，从而螺旋进入腔室并污染膜的生长。总体而言,VARIAN GEN II是一种先进的分子束外延工具,可提供卓越的性能、多功能性和环境稳定性。GEN II通过提供卓越的实时监控功能、可定制的增长率和组合物以及超低除气组件,增强了对沉积过程的控制,创建了结构精确的薄膜材料,具有均匀性和可重复性。
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