二手 VEECO GEN III #9262111 待售
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ID: 9262111
优质的: 2001
MBE System
(3) Al Sources: 400g
(2) Ga Sources: 900g Sumo
In Source: 400g Sumo
CBr4 Carbon Source includes mech pump
Silicon source
(2) Arsenic crackers
RHEED System
Substrate pyrometer
STANFORD RESEARCH SYSTEMS Residual gas analyzer
Cryo and compressor
Ion pumps
Load lock turbo
CAR
Spare parts:
(2) Al Sources – 400g
(2) 400g Sumo
900g Sumo
Be Source
As cracker (Needs rebuild)
Phosphorous cracker
Phosphorous recovery system
Bakeout panels
Spare gate valve
Sump pump
Miscellaneous hardware in cabinet (Gaskets, bolts, crucibles, spare cables)
Includes:
Electronic racks
Computer and desk
Shutter hardware
Trolley
Substrate holders
LN2 Phase separator
Water chiller for source shroud
Water chiller for Arsenic crackers
UPS system for Ga and Al cells
Manuals
2001 vintage.
VARIAN/VEECO GEN III是一种分子束外延（MBE）生长设备，通常用于原子级薄膜的沉积。该系统由几个主要部件组成，如高温生长成像炉、超高真空室、多个积液池、热接近快门和几个前线泵送系统。该成像炉能够达到高达1000摄氏度的温度，用于将材料从固体形式转化为气态形式，以便沉积高质量的超薄膜。超高真空室是发生沉积的区域，通常加压到十分之一毫巴。多个积液细胞中含有源性物质，需要加热至高温才能使其元素蒸发并进入腔室形成薄膜。热接近快门用于控制积液池与沉积膜的底物的相对位置。前线抽水系统需要保持较高的真空水平，这对于MBE来说是必不可少的，因为它需要较低的分压环境，以防止膜受到污染。抽油机附着在真空室中，具有调节机器压力和产生高质量真空的两个功能。抽水工具还可以使用其他组件，如冷冻阀、真空计、歧管阀和凸轮阀，以优化性能。总体而言，VEECO GEN III MBE资产是一种强大的增长工具，可以在极其精确的条件下提供一系列的材料属性。它提供了一个无与伦比的水平控制沉积过程，使其能够创造复杂和复杂的薄膜。
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