二手 VEECO GEN III #9378324 待售
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ID: 9378324
晶圆大小: 2"-4"
优质的: 1996
MBE System, 2"-4"
Pieces: ¼"
Electronics rack
Chamber
Computer
RHEED Camera type: SI NEK150R1
RGA Mass spectrometer: PRB ECU 9925
For III / V Growth: GaAs, AlGaAs, InGaAs, CBr4
(9) Sources (Rebuilt): (2) Ga, (2) Al, (2) In, As, Si, (shared) C / Be
H2 Cracker
1996 vintage.
VARIAN/VEECO GEN III是一种分子束外延（MBE）生长设备，通常用于原子级薄膜的沉积。该系统由几个主要部件组成，如高温生长成像炉、超高真空室、多个积液池、热接近快门和几个前线泵送系统。该成像炉能够达到高达1000摄氏度的温度，用于将材料从固体形式转化为气态形式，以便沉积高质量的超薄膜。超高真空室是发生沉积的区域，通常加压到十分之一毫巴。多个积液细胞中含有源性物质，需要加热至高温才能使其元素蒸发并进入腔室形成薄膜。热接近快门用于控制积液池与沉积膜的底物的相对位置。前线抽水系统需要保持较高的真空水平，这对于MBE来说是必不可少的，因为它需要较低的分压环境，以防止膜受到污染。抽油机附着在真空室中，具有调节机器压力和产生高质量真空的两个功能。抽水工具还可以使用其他组件，如冷冻阀、真空计、歧管阀和凸轮阀，以优化性能。总体而言，VEECO GEN III MBE资产是一种强大的增长工具，可以在极其精确的条件下提供一系列的材料属性。它提供了一个无与伦比的水平控制沉积过程，使其能够创造复杂和复杂的薄膜。
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