二手 VEECO MOD GEN II #9269863 待售

製造商
VEECO
模型
MOD GEN II
ID: 9269863
晶圆大小: 3"
MBE (Molecular Beam Epitaxy) system, 3" 8 Sources (10) Indium-free sample holders with different profiles Substrate heater Substrate manipulator: Power supply Temperature controller Servo motor control unit Clean chamber Effusion cells (2) Valved crackers RF (Radio Frequency) plasma source Growth chamber pumps Prep chamber pumps Load lock pumps (3) Ion gauges (3) Controllers RHEED (Reflection High‑Energy Electron Diffraction) system QMS (Quadrupole Mass Spectrometer) system Pyrometer PC Bake out panels.
VARIAN/VEECO MOD GEN II分子束外延(MBE)设备是一种功能强大的先进沉积工具,可提供纳米结构制造和高精度掺杂异质结构。它利用低压和高度聚焦的超高真空的组合来实现对各种材料沉积的最高程度的控制,同时尽量减少污染。该系统提供了一个单独控制的环境,具有广泛的温度设置和先进的积液细胞单元。其核心是一台可旋转的两轴仰角机,用于输送各种材料,协助建造复杂的纳米结构。可控环境由闭环温度工具维护,该工具可精确控制从几百摄氏度到10K或更低的基板温度。这可以通过使用可选的气动控制温度控制器来进一步改进。集成的三区积液单元资产是用户可配置的一系列材料类型和通量速率。该车型还可以配备一系列附加配件,如原位气体脱气器和加热器,以及原位控制和监控设备。VEECO MOD GEN II还具有一个流程监控系统,该系统可持续监控和记录可能的污染情况,从而使用户可以更好地控制流程。这可以提供宝贵的数据来提高制造过程的准确性和效率。自动分级装置大大提高了吞吐量,允许同时处理多达八个四英寸晶片。该机器还可以用沉积配方进行预编程,并提供易于操作和设置的界面。VARIAN MOD GEN II MBE工具是控制和精确处理材料沉积的通用、紧凑的工具。它提供了广泛的温度设置和附加的安全功能,以最大限度地提高准确性和吞吐量,使用户能够快速创建高质量的纳米结构。是III-V和IV-V复合半导体、纳米技术、量子点系统研发的理想沉积工具。
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