二手 VG SEMICON V80 #293795343 待售
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ID: 293795343
晶圆大小: 4"
优质的: 1997
MBE (Molecular Beam Epitaxy) system, 4"
Chamber for III-V
Chamber for II-VI
Chamber for IV
1997 vintage.
VG SEMICON V80是一种最先进的分子束外延(MBE)设备,设计用于高质量晶体薄膜和纳米结构的外延生长,具有原子级精度。MBE是半导体器件制造领域的一项成熟技术,因为它能够生产具有优异的电子和光学性能的材料。V80系统配备了多个高温积液电池,以热蒸发的元素源,例如清洁、蒸发、蒸发、蒸发、蒸发、蒸发、蒸发、蒸发、蒸发、蒸发、蒸发、蒸发、蒸发、蒸发、蒸发、蒸发、蒸发、蒸发、蒸发、蒸发、蒸发这些细胞被精确控制,以保持原子在基板表面的稳定通量,确保均匀沉积和晶体生长。该单元还具有用于复合半导体生长的射频等离子体源,如砷化氙(GaAs)、磷化铵(InP)、氮化的氙(GaN)。VG SEMICON V80机的关键功能之一是其先进的基板处理工具,它允许复杂的多层结构增长,具有高可重复性。该资产配备了一个锁载室,能够快速交换基板,而不会使生长室暴露在空气中,确保高真空条件和最大限度地减少生长过程中的污染。基板支架可以容纳各种尺寸和类型的基板,包括半导体晶片、单晶和有图样的基板。V80模型由先进的计算机软件界面控制,用户可以实时编程和监视增长过程。软件提供了一个用户友好的图形界面,用于设置生长参数如基板温度、生长速率和光束通量。此外,该设备还配备了反射高能电子衍射(RHEED)和质谱等现场监测工具,对生长过程和薄膜组成进行实时分析。VG SEMICON V80系统配备了高精度的机械手单元,允许在生长过程中精确定位和旋转基板。这一特征对于具有精确厚度、组成和晶体取向的外延层的生长至关重要。该机器还包括一个专门的气体处理工具,用于在生长过程中引入掺杂剂和额外的反应性气体,从而能够制造具有量身定制的电子特性的复杂半导体结构。综上所述,V80是一项用途广泛的MBE资产,它为研究人员和设备制造商提供了一个强大的工具,以提高外延薄膜和纳米结构的质量和控制能力。VG SEMICON V80模型凭借其先进的功能、精确的控制和用户友好的界面,处于MBE技术的最前沿,并准备推进半导体材料和器件领域的研发。
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