二手 ADT 977 #293621315 待售

ADT 977晶片加工设备是一个高性能、自动化的系统，专门设计用于运输和加工不同大小和厚度的晶片。该单元由龙门式运输机、静止式引擎盖、载重锁、多个处理室和载重端口室组成。运输工具采用xy台式驱动和直线电机技术相结合的驱动，可精确控制基板的定位和基板从腔室到腔室的精确、快速移动。静止发动机罩设有一个配有多个质量流量控制器的气体分配网络，用于精确控制过程和清洁气体。将高性能晶片卡盘集成到资产中，可以根据应用指定真空或大气卡盘的选择。加热负载锁采用结晶石墨角设计，具有手动选择器阀和自动闸阀，用于精确控制和快速切换腔室压力。977室是高度可配置的，能够执行各种不同的过程，包括沉积、蚀刻、升空、氧化、植入和清洁。工艺模块都可以与主控制模型相连接，允许精确设置压力、温度和其他参数。负载端口室配备了一个清洁的、自动控制的传输端口，提供了控制进入工艺室的通道。ADT 977还包括视频监控、自动化配方功能和全面的用户界面,从而可以轻松直观地操作流程。此外,该设备还具有紧急停止按钮、全局关闭功能、互锁开关和集成安全功能,旨在提供最佳保护,防止意外事件和潜在事故。977晶片处理系统为晶片的自动化处理、运输和处理提供了经济高效的解决方桉。它是一个可靠、易于使用的单元，适用于微电子行业的广泛应用。