二手 AIT VRS-150 #293648369 待售

AIT VRS-150是一种最先进的晶圆加工设备,其设计目的是在各种基材上实现薄膜和薄膜的精密、高度控制的沉积和蚀刻。它是广泛的湿法和干法、高容量和低容量晶圆加工应用的理想解决方桉。VRS-150配备了一整套自动化、集成的流程工具和先进技术,使用户能够在最具挑战性的流程环境中实现最高级别的流程控制和可重复性。AIT VRS-150具有模块化、高级硬件、高级软件和工艺技术,以及各种高度指定的制造组件。该系统提供了出色的一致性和过程控制,为用户提供了一个高效的单元,以实现预期的结果。复杂的硬件配置确保用户能够精确地管理其晶圆处理。VRS-150还配备了先进的加热机、先进的烧蚀和蚀刻系统、化学分析系统以及支持自动化工艺配方的其他先进工艺中间件。该工具能够执行各种薄膜沉积技术，如溅射、蒸发和原子层沉积（ALD）。也可用于进行多种蚀刻技术，如反应性离子蚀刻（RIE）、化学机械抛光（CMP）、化学蚀刻以及其他各种晶圆加工任务。AIT VRS-150还为用户提供先进的化学分析和过程监测系统，以提供过程控制和准确性。此资产可用于监控和调整工艺参数,并验证所得薄膜的质量。VRS-150上的自动化流程配方和流程开发模式为用户提供了易于使用的流程开发工具。它还为用户提供实时过程控制、分析、反馈控制和数据分析。AIT VRS-150为用户提供了针对各种薄膜沉积技术的完全自动化的过程功能,并为用户提供了行业中无与伦比的过程复杂、可重复性和过程控制的独特组合。除了先进的功能外,VRS-150还具有多功能性和经济效益,为用户提供了满足其薄膜沉积需求的完整解决方桉。它是各类晶片处理应用的理想解决方桉，从简单的批处理过程到苛刻的连续生产运行。