二手 AIT VRS-150 #293648371 待售

AIT VRS-150是一种用途广泛、可靠的晶圆加工设备，旨在满足最苛刻的半导体应用的需求。该系统包括一个全自动的转运站，以及一个最先进的机械臂，使它能够在各个过程阶段轻松操纵每个晶片。数个视觉系统进一步加强了机器人系统，利用专有算法监测整个芯片和晶圆的进展。VRS-150可以处理各种各样的晶圆尺寸和类型，包括8英寸和12英寸晶圆。它还可以容纳一个范围的晶圆厚度，范围从75到300 μ米。这台机器还具有高达175°C的最高晶圆温度，非常适合需要退火或其他高温处理的应用。该工具的控制器是一个IBM兼容的CPU，有两个驱动器同时用于板载晶圆处理软件和全局规范软件包程序。软件包程序允许为流程中的每个步骤定制参数配置,并提供手动和自动控制。控制器还能够在线监控、调整处理器性能以及实时报警和错误记录。AIT VRS-150还提供了各种各样的流程工具。这些工具包括干蚀刻加速器、化学气相沉积（CVD）炉、烤箱和各种晶圆清洗工具。每种工具的设计不仅要生产高质量的产品，而且要尽量减少污染风险。CVD炉进一步优化，提供低温低压工艺，非常适合高性能部件。总之，VRS-150是一种高度先进、用途广泛的晶圆加工资产。它易于使用的控制器、自动化中转站、坚固的机械臂和一系列高科技工艺工具,使其成为各种高性能半导体应用的理想选择。