二手 AIT VRS-150 #293648372 待售

AIT VRS-150是一种先进的晶圆处理设备，提供最新的技术和组件，以确保系统的高效和受控运行。该装置设计用于处理多种工艺，包括湿法和干法加工、清洁、抛光和涂层。VRS-150还包括模块化设计,允许自定义配置和应用程序满足每个客户的特定需求。该机设计紧凑，有多个操作区域，包括晶圆加工用的加工室和日常监测用的湿式传感器室。该工艺室设计用于高质量晶圆加工，采用多室设计，允许对所有工艺参数进行完全控制。该室还提供所有工艺参数的实时反馈和数据记录，以确保最佳性能。为了实现高效可靠的操作,AIT VRS-150包括一个集成的过程控制器,可实现单区域和多区域操作。该控制器专为灵活高效的用户控制而设计，可实现所有晶圆处理操作的完全自动化。控制器能够控制多个过程参数，例如温度、压力和大气，同时还可以根据需要监测和调整每个参数。VRS-150还具备先进的自动化和监控能力。该工具具有闭环资产控制，能够实时监测和调整流程参数。此外，该模型能够自动调整参数，以确保处理结果的一致性和准确性，并防止代价高昂的错误或污染。最后,AIT VRS-150集成了一套功能强大的软件应用程序。此软件旨在为用户提供设备性能的直观和全面视图,以及每个流程状态的详细信息。凭借其易于使用的界面，用户能够方便快捷地控制、监控和调整系统。软件还包括一个实时图表，它提供了设备性能的即时可视化表示。总体而言，VRS-150是一台先进的晶圆加工机，为需要快速高效处理的客户提供可靠的操作和性能。AIT VRS-150拥有先进的软件、直观的用户界面和强大的组件,是那些希望最大限度地实现晶圆处理的用户的理想选择。