二手 AIT VRS-150 #293648373 待售

AIT VRS-150是一种晶圆加工设备，为各种半导体制造应用提供了广泛的解决方桉。该系统配备了集成的介电蚀刻机、多酸蚀刻机，以及集成的光掩模光刻和沉积工艺。这确保了制造高级集成电路（ICs）和介电封装所需的所有关键功能都可在单个平台中使用。VRS-150提供了一系列增强的工艺能力，如纤薄介电蚀刻、多酸蚀刻、光掩模光刻和等离子体沉积。光掩模光刻模块提供可靠、高分辨率的模式复制和掩模制作功能。基于等离子体的沉积工艺旨在提供高通量、均匀性和可重复性。该单元还具有自动化监控功能和高级数据收集功能,以实现快速流程优化。这样可以确保有效地优化生产,使制造商能够最大限度地提高产量、减少浪费并降低成本。AIT VRS-150由符合人体工程学设计的操作员界面支持,该界面提供全面、直观的控制。用户界面具有一个大的彩色LCD,显示来自八个全彩色图形的信息,这些信息提供了来自进程序列的状态和操作信息。除了优化的流程功能外,VRS-150还提供全组织范围的灵活性和可扩展性。该软件旨在与各种软件解决方桉配合使用,而机器的可扩展性允许用户满足特定的要求,无论其大小如何。综上所述,AIT VRS-150是一种综合性晶圆处理工具,可在单个平台中提供广泛的流程功能。它具有灵活性、可扩展性和可靠性,是半导体制造应用的理想解决方桉。集成的自动化系统和数据收集功能有助于确保生产得到有效优化,而符合人体工程学设计的用户界面则可确保用户友好的操作。