二手 AIT VRS-150 #293648374 待售

AIT VRS-150是另一种先进的晶圆加工设备，设计用于超微米精度的高容量项目。该系统设计用于处理直径不超过150毫米的晶片，可以处理多种材料，包括硅和有机材料。该装置采用多轴机器人定位机，其XYZ定位精度在45毫米x 45毫米x 10毫米的总范围内移动± 1.5 μ米。这样可以确保每个晶片的精确放置,并确保一致的处理结果。该工具包括集成的视觉资产,能够检测和定位小至6 μ m的精细几何特征。这样可以实现高精度和超高速处理。此外，该模型的设计便于与其他晶圆处理系统集成。VRS-150利用精细的机器部件来确保可靠可靠的性能。设备由两个主要部分组成。第一部分是主要的prober，设计用于自动晶圆处理和放置。本节设有真空管线，协助晶片装卸。第二部分是晶片经过清洗、氧化等处理过程的钝化室。AIT VRS-150具有一个自动真空系统，它允许在过程中的每一步中控制一定数量的真空力。它还包括一个"喷嘴喷射"单元，确保在每个工艺步骤后完全去除晶圆。它还具有易于调节的工艺参数，以适应不同的材料和应用。该机具有一系列传感器和安全功能，以减少操作员的错误，提高吞吐量和延长刀具使用寿命。许多组件是紧凑的,使资产成为低成本、高通量晶圆处理的理想选择。该模型具有易于调节的光源，以适应一系列晶圆尺寸和厚度，并配备了机器人和螺杆级自动清洗设备。此外，该系统设计用于在恶劣条件下的受控大气中运行，以确保一致的结果。VRS-150是另一个先进的晶圆处理单元,具有许多功能,旨在确保在大容量应用中的高精度。其多轴机器人和集成视觉能力提供亚微米精度，而真空机和喷嘴则提供自动晶圆处理。该工具是为低成本和延长使用寿命而设计的。此外，传感器和安全功能的范围提供了一个易于使用，安全和可靠的资产。