二手 AIT VRS-150 #293648375 待售

AIT VRS-150是一种全自动晶片处理设备,用于SiC-SiO2、Si LPCVD和多晶硅沉积以及蚀刻和剥离的单通和多通过程。其先进的软件控制工艺能够实现良好的沉积和蚀刻均匀性和最小的批对批变化。该系统配备了多站预对准器、晶圆提升器和晶圆预对准器，以确保晶圆的精确处理。此外，该单元包括几个真空室门，每一个都与主机门互锁，提供额外的安全性和冗余的过程。该工具与三个单独的负载锁集成在一起，每个负载锁支持高达150 mm的晶圆，允许单次和多次通过过程。此外，该资产还具有高分辨率的波束电流监测器，可精确控制PECVD工艺。VRS-150设计有一个关键的过程控制，有助于减少由过程变异性引起的产量损失。它与多个压力传感器、温度传感器和石英晶体射频控制器集成在一起。此外，该模型还包括一个四区感应提升和一个感应倾斜控制，以确保沉积膜的高均匀性。为了确保设备的安全运行，AIT VRS-150配备了一些安全功能，如紧急停止按钮、气体安全截止和气体安全重置。此外，该系统还设计了一个用于过程安全和危险气体监测的气体监测单元，以便在关键的加工环境中进行更安全的操作。总体而言，VRS-150是一个可靠可靠的晶圆处理单元，能够为SiC-SiO2、SiLPCVD和多晶硅沉积以及蚀刻和剥离提供可靠的单通和多通工艺。