二手 AIT VRS-150 #293648427 待售
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AIT VRS-150是一种先进的晶圆处理设备,采用最新的增强软件和硬件技术。该系统为晶圆制造过程的几个方面提供了一个集成的解决方桉,提供了更高的产量、更快的周期时间和更好的质量控制。在单元的核心是一个创新的控制机器,它能够控制各种工具如电镀浴池,旋转涂层,真空炉等等。该工具还具有各种不同的传感器和反馈系统,如红外高温计、涡流探针、热电偶和气体探测器,它们不断监测过程并在必要时进行过程中的调整。VRS-150还具有独特的配方管理资产,允许用户轻松保存、存储和管理多个配方。此功能使用户能够快速更改现有配方或通过单击几次创建新配方,从而确保最大效率和质量控制。此外,该模型可以轻松地与现有工具连接,从而使升级变得无缝且直观。为了提高最终产品的可靠性和质量,AIT VRS-150还提供了基于光谱学的强大的材料表征设备。该系统允许用户准确确定材料的化学成分并实时监控过程,从而在必要时对过程进行快速、反应迅速的调整。此外,该单元是模块化的,为用户提供了根据需要添加和删除组件的灵活性,允许用户自定义机器以高效满足其个人需求。为确保最大限度的用户安全,VRS-150配备了一个全面的紧急停止工具,如果检测到紧急情况,该工具可以关闭资产。此外,该模型还有一套全面的安全协议作为后盾,以防止操作员的错误或设备的滥用。总体而言,AIT VRS-150是一种功能强大、可靠且先进的晶圆加工设备,为晶圆制造过程提供了全面的解决方桉。该系统提供了许多功能,例如强大的控制单元、配方管理机器、物料表征工具等,使用户能够最大限度地提高生产产量、周期时间和质量控制。
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