二手 AIWA AU-90CO #9086459 待售

AIWA AU-90CO是最先进的其他晶圆加工设备,旨在为半导体行业提供高质量、经济高效的晶圆制造和加工解决方桉。该系统采用模块化结构构建,以便在定制生产线中实现易于集成和高可配置性。该单元的主要组件是其4轴模块化刀具更换器,它可以配置来自AIWA系列产品的多种单次或多次处理工具。这允许了湿法和干法蚀刻、氮化物沉积、热退火和溅射涂层等功能的各种组合。机器内的另一个主要组件是卡带传输，负责以同步方式提升和传送晶圆卡带，用于顺序传递处理。该工具旨在提高吞吐量、提高精度和减少废水。它具有0.1um分辨率的基于伺服的控制资产,可精确调整加工模具和晶片,以获得优异的效果。它还通过其可配置的输入/输出系统最大限度地减少水和能源消耗,并采用了几种先进的安全机制来保护人员、设备和产品。为了获得准确的处理结果，可以通过其集成的用户友好图形界面来操纵模型。此界面支持许多用户定义的参数,例如基板温度、气体压力和湿度。这样可以更轻松地采用工艺配方,并提供工具和基板的实时视图,以方便过程控制。由于其令人印象深刻的特点，AU-90CO是各种晶圆制造业务的绝佳选择。它结合了成本效益、精度和安全性，使其成为任何半导体生产商的宝贵资产。AIWA AU-90CO采用模块化结构,易于集成到现有生产线中,并且具有很高的工艺工具可配置性,因此肯定是满足晶圆加工需求的可靠高效选择。