二手 AKT / MKS Astron HF #293608394 待售

ID: 293608394
Remote plasma generator.
AKT/MKS Astron HF是一种最先进的晶圆处理设备,可用于多种应用。这种多功能解决方桉提供了先进技术和简单操作的独特组合,让用户在半导体器件制造过程中达到了最高的精度和质量。该系统由高度先进和可靠的光刻单元AgileMask (TM)光刻站供电,可用于生产用于制造下一代半导体器件的高精度晶片。利用单级航空成像机,连同一个申请专利的扫描镜,这种工具可以产生极精确的模式,分辨率高达2微米。该资产具有ASML扫描仪,能够进行高吞吐量和高分辨率扫描,从而实现高效可靠的生产。AKT Astron HF还包括一个顶端电子束和涂层模型,能够产生超细粒度晶片表面和高分辨率薄膜沉积。该设备采用双电子束系统,保证了高精度的图样和涂层,以及极快的电子束加速度和减速。与光学周期抛光装置(OPPS)结合使用,这台机器可以产生超均匀且无缺陷的亚微米分辨率模式。MKS Astron HF除了具有核心处理功能外,还具备一系列自动化功能和高级软件功能。通过其专用的晶圆汇报软件,用户可以轻松监控和报告整个处理周期,使他们能够优化自己生产线的性能。此工具还具有集成的Autotuning资产,可自动调整操作参数以最大化吞吐量。最后,该模型由集成控制器支持,它允许远程访问和数据管理,以及使用遥控输出。总体而言,Astron HF为用户提供了一种功能强大、精密的晶圆处理设备,它结合了先进技术和易于操作。利用这一系统,用户可以在半导体生产过程中获得最高的精度、质量和吞吐量。
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