二手 AKT / MKS Astron HF #293608419 待售

AKT/MKS Astron HF是一种高端晶圆处理设备，也是创造多种基于晶圆的产品的领先工具之一。该系统为高温氧化、外延生长和器件制造等应用中的各种尺寸和厚度的晶片提供全自动工艺。该设备提供计算机控制、高精度和可重复的处理条件,周期时间快,吞吐量可提高30%。AKT Astron HF旨在通过为自动化过程步骤和复杂的操作参数提供集成环境来扩展晶圆工艺能力。该机配备了包括快速退火、可变泵速、全流量控制、快速压力稳定等选项。此外，它的特点是在250-800°C的范围内预热和冷却至所需温度，从而提高了氧化物的形成速率。该工具的数字板装有PID控制器,可完全控制温度和压力。再者，这种资产可以与ICP工具等其他设备集成，以获得更大程度的可控性、准确性和晶圆处理的可重复性。MKS Astron HF结合了晶圆处理模型，用于在加工室和锁载室之间传输晶圆，允许安全可靠的装载、卸载和处理。它还包括一个可编程的自动端点识别设备，提供充分的灵活性。此外，该系统的安全特性包括压力互锁和过温保护。它还具有现场清洁能力，可以设置为单独清洁每个晶片，从而降低污染风险。该单元还支持一系列配方格式，并允许操作员同时控制过程参数和流控制变量。此外,机器生成的数据可用于跟踪和监视过程条件和周期时间。总体而言，Astron HF为各种基于晶片的工艺提供了处理晶片所需的所有特性和能力。该工具提高了温度性能和准确性,提高了流程吞吐量,确保了可靠和可重复的结果。对于需要高效、高度可控的晶圆处理解决方桉的工程师和研究人员来说，这是一个理想的选择。