二手 AMERICAN METAL WASH EV100 / EV100-R #9233519 待售

ID: 9233519
Washer.
AMERICAN METAL WASH EV100和EV100-R是为各种半导体应用而设计的晶圆处理系统。该设备利用化学和热工艺的组合来清洁、蚀刻和沉积所需的材料到晶片表面。该系统配备了先进的机器人技术,方便快速准确地放置和移除晶片,而全方位的过程控制则让用户可以调整过程的所有元素。该单元的第一个组成部分是化学过程。这涉及到用专有的铜基酸浴处理晶片,这是专门为去除任何有害的污染物和确保达到25U无氧化表面光洁度而设计的。该机还能够进行二元清洁,以提高表面清洁度。EV100-R工具采用机器人辅助工艺,减少体力劳动,提高效率。资产的第二个组成部分是热过程。这采用了专门设计的真空模型,在晶圆加工过程中提供精确的热控制。设备配备了温度监测仪和气体流量调节能力,以确保控制一致的环境。此外,系统还提供主动冷却功能,帮助防止晶圆热损坏。单元的第三个组成部分是可选的沉积能力。这利用先进的掩模沉积技术将各种材料沉积在晶圆表面上。材料可包括钻石、氮化移铵、氮化钛。此功能允许用户自定义和增强晶圆的属性,从而为计算机提供了额外的功能。AMERICAN METAL WASH EV100和EV100-R是先进的晶圆加工系统,旨在生产高质量的元件。该工具包括清洁、蚀刻和将所需材料沉积到晶片表面所需的所有组件。集成的高级机器人技术以及温度和气体流量控制允许用户定制过程以获得精确的结果。可选的沉积功能进一步扩展了资产的应用。
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