二手 AMSONIC EgaClean 4100 #9315323 待售

AMSONIC EgaClean 4100是专门为满足半导体行业需求而设计的先进真空晶片处理系统。它为最具挑战性的应用程序提供了全面、高效和可靠的清洁解决方桉。EgaClean 4100采用先进的四通道脉冲等离子体技术,可精确控制清洁过程。脉冲等离子体技术能够同时控制多个清洁步骤,从而实现统一、高效的过程,实现高精度和可重复的结果。AMSONIC EgaClean 4100支持手动和自动化晶圆清洗过程。集成压力系统在所有清洁区域提供一致的真空水平，而先进的安全功能有助于防止有害气体积聚。为了提高精度和可重复的结果，EgaClean 4100还具有一个专利扩展器系统和独特的浮动喷头。此外,AMSONIC EgaClean 4100还配备了高级图形用户界面,具有易于理解的说明。一系列内置功能提供晶圆清洗状态和进度的实时反馈。EgaClean 4100的设计可以容纳各种各样的基材和晶圆尺寸。它支持一系列工艺，包括蚀刻、剥离、清洁、背面清洁、CMP后清洁和晶片氧化，以及单晶片加工。它还提供了较低的运营成本以及较小的占地面积,以提高生产线的效率。AMSONIC EgaClean 4100是半导体制造晶圆加工的理想选择,为各种基材清洁需求提供了可靠的解决方桉。凭借其先进的Pulsed Plasma技术、直观的用户界面和一系列内置功能,EgaClean 4100提供了全面、高效、可靠的清洁解决方桉,旨在提供一致、高精度的结果,并提高吞吐量。