二手 APL ADS-200 #9280974 待售

APL ADS-200是先进的外延沉积晶片加工设备，用于先进的研究设施和实验室。其设计允许高生产率和精确控制可重现的结果。该系统的主要部件是沉积室、热板、泵和排气以及晶圆传输机构。该室配有加热边缘单元和精确控制沉积速率的机构。加热机确保薄膜在薄片和薄片上均匀沉积。腔室温度可以在很宽的范围内调节，从而可以精确调整被沉积材料的性能。排气工具是为最大效率和最小粒子产生而设计的。热板具有可调的温度范围，能够制备均匀的外延沉积基板。也可用于沉积后热处理或薄膜胶带的制备。晶圆传输资产可自动将晶圆加载到腔室。它专为高吞吐量而设计，一次最多可容纳50个晶圆。该模型易于使用,允许使用控制器和软件实现自动化。控制器支持手动和自动操作。在手动模式下，可以直接设置沉积速率、温度、厚度等参数。在自动模式下，最多可定制八种不同的化合物和元素沉积配方。这允许用户预先确定他们计划应用到晶片上的薄膜特性。ADS-200是一种高度可靠和坚固的设备,旨在在一系列研究和实验室环境中实现最佳性能。它具有广泛的无与伦比的控制和精度，是高级晶圆处理任务的理想工具。