二手 AQUEOUS TECH AQ 201SC #293590741 待售

AQUEOUS TECH AQ 201SC是一种最先进的其他晶圆处理设备，设计用于大规模生产复杂的半导体器件，如片上系统（SoC）器件、逻辑器件和异构器件。AQ 201SC是一种全自动的单晶圆单元,能够针对各种晶圆尺寸执行一系列过程。它还能够容纳各种底物类型，包括砷化​​氙（GaAs）和硅上绝缘体（SOI）。机器的核心部件包括一个湿处理模块、一个干处理模块、一个洁净室模块和一个装载区。湿处理模块能够进行各种操作，包括脱气、氧化蚀刻、扩散、湿清洗和化学清洗。干加工模块能够进行化学机械抛光（CMP）和其他干化学过程。4级洁净室模块利用HEPA过滤来维持生产的洁净度标准，还配备了用于湿法和干法加工的先进化学配方管理工具。这样就可以在最小的过程操作员干预下快速优化配方。此外,自动化的物料装载资产允许安全、准确地处理物料。AQUEOUS TECH AQ 201SC具有高级可视化和数据采集工具,例如Process Analyzer和Model Monitor。这些工具使用户能够实时跟踪和监控设备的性能,从而能够立即进行流程优化和故障排除。为了满足各种晶圆尺寸的不同处理需求,系统包括各种附件,例如可交换的工艺框架、卡盘和一系列工艺室。此外,可以定制AQ 201SC以与其他生产系统（如光刻系统、CMP系统和RTP系统）集成。最后,AQUEOUS TECH AQ 201SC节能,符合行业最高标准和环境法规。这使得它成为大批量生产和现代半导体应用要求苛刻的完美解决方桉。