二手 AQUEOUS TECH AQ 400 #9151770 待售
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AQUEOUS TECH AQ 400是一款高端的晶圆处理设备,旨在支持先进的研发应用。它是一个完全自动化的零流体分配系统,利用先进的过程控制系统提供最佳的过程重复性、准确性和可追踪性。该设备经过专门设计,可高效清洁、溷合、极化和循环重复几乎所有具有各种功能的液体,从而确保最佳生产吞吐量和成本效率。AQUEOUS TECH AQ-400为集成不同的工艺格式、处理制度和消耗品提供了一个开放平台。它能够处理任何尺寸可达8英寸的晶片,使用加热的磁头或冷却的表面,并提供先进的通量控制,以精确传输流体。它具有集成的触摸屏界面,用于流程监控和手动干预。其基于PLC的控制机具容错架构,在生产过程中提供可靠高效的操作。该工具配备了精密溶解氧(DO)测量资产,用于在大多数关键过程中进行控制和监测。此外,它还可以处理高粘度和低粘度的任何溶液。其自动氮气注入模型确保了可靠的抗氧化和污染保护。如果需要,它还可以连接到主动或被动湿度控制的环境,以实现超精确的过程。AQ 400为晶片和部件提供了先进的清洁技术和处理能力,允许从基板上去除有机物和金属。在处理低污染部件,如超纯水应用或纳米团簇,以及高纯度材料时,它也能很好地管理污染控制。凭借其流程管理设备,AQ-400可以在独立配置和网络配置中提供详细的流程可追踪性。该系统还提供实时作业跟踪数据,允许用户精确监控和控制操作。符合ISO 9001和21 CFR Part 11标准。AQUEOUS TECH AQ 400是面向未来和可靠晶片加工的首选,是任何从事先进液体处理工作流程的实验室或研究机构的宝贵工具。它提供高效的清洁、处理和污染控制功能,使其成为满足工业和科学应用需求的可靠选择。
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