二手 AQUEOUS TECH AQ 400 #9216776 待售

AQUEOUS TECH AQ 400是一个尖端晶圆处理系统，专为超精密蚀刻、灰化、清洁等工艺而设计。它能够在几乎任何尺寸或厚度的晶片上进行蚀刻和清洁,并具有最大的穿透性能。AQUEOUS TECH AQ-400具有获得专利的EASYFLOW®三级集成晶片工艺,它将最高级别的蚀刻性能和清洁度与几乎零晶片损坏相结合。EASYFLOW®三阶段流程包括蚀刻阶段、上升Flow™阶段和清洁阶段。在蚀刻阶段，晶片被锁定在可调节的真空卡盘中，并暴露于系统产生的高级蚀刻器中。蚀刻剂与晶片相互作用，去除任何污染，形成均匀蚀刻的表面。接下来，晶片被转移到上升-Flow™阶段，在那里它暴露于精确控制的超纯气体流动中，这些气体从晶片表面去除颗粒和杂质。最后一步是清洁阶段。在这里，晶片通过一个专门的腔室，进一步清洁任何微量颗粒的表面，使用一个旋转擦洗动作产生的专利申请SHIELD™清洁刀片。AQ 400是超精密蚀刻和清洗操作的理想系统。凭借其高精度的EASYFLOW®工艺,AQ-400确保了最大的直通性能和超低污染-使其能够满足最苛刻的超高清洁度要求。AQUEOUS TECH AQ 400可靠、易用、经济实惠,是需要最大性能和质量控制的应用的理想选择。