二手 AQUEOUS TECH AQ 400 #9352516 待售

ID: 9352516
Batch washer.
AQUEOUS TECH AQ 400是为高性能半导体体积生产而设计的综合性晶圆处理设备。AQUEOUS TECH AQ-400晶圆处理系统在多功能、易于使用、占地面积小的包装中提供了最大的灵活性。它是一种单一晶片加工的多合一解决方桉,能够加工各种直径达100毫米(4英寸)的硅和其他特种晶片。AQ 400单元的核心是一个机械臂,它能够处理直径不超过4英寸的晶片和材料。由于其卓越的精度和快速的速度,手臂确保晶片的精确处理,从加载到卸载。这样可确保在安全可靠的环境中进行高效处理。AQ-400还配备了内置视觉机器,有助于简化晶片的处理。该工具旨在适应各种应用,从蚀刻、清洁、剥离、光刻到CMP和退火。AQUEOUS TECH AQ 400还配备了先进的安全功能,以确保人员和设备的安全。它具有内置的安全互锁资产和安全关闭机制,以防止在高温过程中意外暴露晶圆。此外,AQUEOUS TECH AQ-400还提供对工艺温度的实时监测。这确保了更好的控制和更准确的结果。为确保统一和可重复处理,AQ 400被编程为处理各种工艺参数.这包括气流、温度、压力、时间、晶圆级距离、机械臂行为等设定点。内置测序模型可确保晶片的平稳和一致处理。此外,AQ-400还具有远程控制界面,用户可以从远程位置访问和监视设备,从而节省时间和资源。为了方便和用户灵活性,AQUEOUS TECH AQ 400还配备了用户友好的图形用户界面(GUI),方便输入和检索数据。此外,AQUEOUS TECH AQ-400还以定制设计的程序的形式提供强大的软件支持,使系统能够运行和维护。总体而言,AQ 400晶圆加工单元是大体积半导体加工的理想选择。凭借其多样的功能、强大的软件支持和可靠的准确性,它能够顺利、经济高效地生产高质量、无缺陷的晶片。
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