二手 AQUEOUS TECH AQ 400CL #9032311 待售

AQUEOUS TECH AQ 400CL是为高通量、自动晶圆清洗和干燥而设计的下一代晶圆加工系统。它由AQUEOUS TECH专有的Cloud-Ready平台提供支持,该平台使用基于云的SOP、数据采集以及远程监控和通信。AQUEOUS TECH AQ 400/CL采用四个处理模块的模块化设计,非常适合从主流半导体到MEMS、MEMS-A、微流体等多种基板的大量生产。AQ 400CL的模块化设计允许最大程度的多功能性、兼容性和灵活性。四个集成模块-工艺模块、清洁模块、空气净化模块和腔室控制模块-提供了一系列功能。工艺模块提供先进的晶圆预处理、湿加工和材料转移,而清洁模块提供清洁、干燥和非易失性沉积物去除。空气净化模块提供净化、冲洗和通风循环支撑以及密封，而腔室控制模块控制部分腔室。AQ 400/CL的Cloud-Ready平台可帮助操作员对硬件和软件进行远程编程、监控和故障排除。通过重复功能对过程的匹配、多位置监控以及同时执行不同的软件配置和操作,用户可以收集数据以改善操作,并将处理时间节省多达50%。该平台还提供远程SOP、文档和一整套诊断报告。除了四个处理模块外,AQUEOUS TECH AQ 400CL还具有多种功能以确保最佳性能。它采用PTFE涂层化学增强室设计，以支持各种化学系统的湿法加工，以及全自动清洁卸载系统。其原位室内清洁功能是一个自我清洁的循环，有助于在严格的洁净室标准范围内维护流程。此外，它还配备了自动晶圆校准，用于准确可靠的晶圆跟踪和处理。总体而言，AQUEOUT TECH AQ 400/CL是最终的高通量晶片清洗干燥系统。凭借其云就绪平台和各种特性和功能，使运营商能够优化流程并提高晶圆处理的吞吐量。