二手 AQUEOUS TECH AQ 400CL #9234265 待售
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ID: 9234265
优质的: 1997
Batch cleaner
Open loop machine
Does not include strip printer
1997 vintage.
AQUEOUS TECH AQ 400CL是一种先进的晶圆加工设备，旨在满足晶圆制造的最高非化学颗粒还原要求。该系统提供卓越的颗粒还原性能，更严格的粒径分布控制，更高效的运行时间。AQUEOUS TECH AQ 400/CL采用可调压力喷嘴清洗工艺，旨在保证晶圆涂层的最佳效果和颗粒还原性能。该工艺利用精确的水流率以及可调节的喷嘴方向和位置来有效地清洁粗糙和成品表面。多喷嘴清洗循环与可调水压相结合，提供了先进的颗粒还原性能。AQ 400CL还兼具湿法和干法两种功能。这两种工艺功能的结合使得清洁晶片表面更容易，并通过允许去除细小颗粒同时保持下面晶片表面的完整性来提高性能。AQ 400/CL装置采用高强度UV-C光致发光微粒去除技术。这项专利技术可确保在不使用化学品的情况下实现坚固的颗粒还原。光致发光光使晶片表面暴露于安全、精确的能量通量中，从而中和颗粒而不会损坏下面的底物。此技术还允许更长的运行时间,以便更高效地处理晶圆曲面。此外,AQUEOUS TECH AQ 400CL还具有广泛的自动化和机器控制功能,以适应不同的应用程序、运行速度和环境条件。该软件的设计目的是从前面的前置过程、晶圆堆积室的上游以及后处理区域清除颗粒。这在预处理阶段和后处理阶段都提供了高质量的颗粒还原晶片表面。总体而言，AQUEOUS TECH AQ 400/CL是一种先进的晶圆加工工具，旨在满足最高的非化学颗粒还原要求。该资产提供卓越的颗粒还原性能、更严格的颗粒尺寸分布控制、更高效的运行时间以及广泛的自动化和模型控制。
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