二手 AQUEOUS TECH AQ 7 #9165986 待售

AQUEOUS TECH AQ 7是另一种晶圆加工设备，设计用于满足半导体工业中高精度、高产加工的需求。该系统支持300毫米晶圆，24小时内可处理多达200个晶圆，同时达到1微米或以下的精度。AQ 7是一个全自动单元,具有集成的软件和硬件功能,可快速、可靠地处理各种晶圆过程。它将湿法和干法两者结合在一起，以便高效和可重复地执行各种流程任务。AQUEOUS TECH AQ 7包括一个能够处理干湿过程的过程模块。它包括一台使用化学/等离子体蚀刻来蚀刻和塑造表面的蚀刻机，以及用于保形涂层和薄膜沉积的气相沉积工具。AQ 7还有一个Spin Rinse Dryer，用于冲洗和干燥晶片。包括质量流控制器和真空冷却器，为所需的晶圆工艺提供精确的环境条件。AQUEOUS TECH AQ 7还包括最先进的AQ 8监控资产，允许用户实时监控和控制整个处理模式。监测设备包括在线流程配方和配方管理功能，以确保流程参数始终保持最高精度。为确保安全、可靠和可重复的晶片处理,AQ7具有多种安全功能。其中包括一个系统自我诊断功能，允许用户在单元操作过程中轻松检查异常情况。内置的冷却器安全机器可确保冷却器的温度不会超过设定点温度。该工具还包括嵌入式安全资产和多项认证，包括CE和ATEX，以确保危险环境中的安全和性能。最后,AQUEOUS TECH AQ 7提供了多种操作模式（湿、干或两者）。这使得用户可以很容易地适应不同的条件，比如在不同的生产运行或生产线中可能遇到的情况。它还包括高级用户界面和报告功能,使用户能够在模型使用过程中轻松监视和跟踪其进度。总体而言，AQ 7是为满足半导体行业需求而设计的顶级晶圆加工设备。该系统在广泛的应用中提供高精度、高吞吐量和可靠的操作。它还提供多种安全功能,以提高用户的安全性,并获得了在危险环境中使用的认证。