二手 AQUEOUS TECH ECO 6300uP #9185561 待售

AQUEOUS TECH ECO 6300uP是Aqueous Technologies提供的先进晶圆加工设备。该系统设计用于各种研究、开发和生产应用，从超净模具连接到先进的光子器件制造。该设备采用六站群集工具,能够对直径最大6英寸的晶片进行完整处理,并可以使用可选的模具连接框架处理300 mm晶片。该单元包括精密部件和可调节参数，用于精确、可重复、低污染的过程。ECO 6300uP配备了基于智能卡的可编程分配单元，用于特定的分配操作和精确的解决方桉交付。该机器能够运行多种类型的进程，从简单的晶圆清洗到多腔室框架处理。该设备采用紧凑的外形尺寸设计,可用于清洁环境。此外，整个工具可以自动访问和响应，提供快速的流程管理和对整个流程的精确控制。该资产的特点是获得专利的双波长喷枪，其设计目的是提供精确的喷雾模式，同时控制蒸气流动和污染。灌溉装置的设计目的是提供均匀均匀的晶片覆盖范围，减少覆盖范围不完全和污染的风险。该模型设计为用户友好的首次操作，具有交互式触摸屏界面，便于操作。该单元进一步能够适应各种各样的晶圆类型和尺寸，以及各种工艺需求。AQUEOUS TECH ECO 6300uP是一种健壮、可靠、高效的设备，非常适合研究、开发和生产光子器件。该系统能够提供具有低污染水平的精确和可重复的过程，使其成为广泛光子应用的最佳选择。