二手 AQUEOUS TECH ECO #9185902 待售

AQUEOUS TECH ECO是其他晶圆加工的革命性新系统。这种高吞吐量、低占地面积的设备利用了专有的水处理技术,能够跨Si、GaAs、InP、SoI和FDSOI等所有类型的晶片进行多阶段处理。该系统包括四个主要组成部分：氯基预处理反应堆、臭氧基氟化反应堆、等离子体基氧化反应堆和酸基后处理罐。氯基预处理反应器用于去除晶圆表面的污染物和天然氧化物。经过预处理后，生成氧基和氢基自由基，以增强后续工艺步骤的附着力。然后利用臭氧基氟化反应器实现介电膜在晶片上的高质量沉积。等离子体氧化反应器用于在晶片进入酸性后处理罐之前细化晶片的表面质量。酸性后处理用于蚀刻电介质膜。对蚀刻过程进行仔细监控，确保晶片表面均匀且无缺陷。调整后的工艺参数可实现浅层和深层蚀刻操作。经过后处理，导电种子层和钝化层沉积在晶片上。最后,检查晶片,检查表面是否有损坏或缺陷。ECO旨在确保废物和环境影响最小。它在预处理、氟化、氧化和后处理阶段使用无害环境的溶液。还收集和再利用各种流体，以尽量减少浪费，并确保在加工过程中对晶片进行最佳处理。AQUEOUS TECH ECO是一个可靠且具成本效益的系统，可用于多种工业应用，包括微电子学、光子学和生物医学设备。其高长宽比蚀刻能力和低占地面积特别适合晶圆级封装和MEMS/NEMS集成。ECO具有灵活、用户友好的设计,是晶圆加工操作的理想选择。