二手 AQUEOUS TECH SMT-600LD #9253137 待售

AQUEOUS TECH SMT-600LD为其它晶圆加工行业的湿工艺应用提供了一种快速可靠的解决方桉。此设备专为超低成本和高效率而设计,在各种晶圆尺寸、厚度和材料上,以最小的工作量和卓越的性能实现系统性能的最大化。该装置的主要用途是加工晶片，在湿工艺之前涂上抗蚀剂涂层。SMT-600LD由一个模块化设计平台组成,该平台为其它晶圆处理中的每个过程步骤提供了单独的模块。这包括将晶片输送到每个模块的传送带，高速喷雾批处理和阻尼过程的组合，预热，两级冷却，以及控制液位的全自动机器。湿法加工工具采用高压、多向喷雾和浸渍机构的组合，以达到所需的抗性涂层。该工艺的喷涂阶段确保了均匀的涂层，并保护免受外部和内部缺陷的影响，而浸洗工艺则有助于去除晶片表面的颗粒。预热模块允许晶片在加工前达到精确的温度，而两级冷却模块确保均匀冷却以避免开裂。另一个晶圆处理资产包括一个集成和复杂的液位控制模型，即使在有范围或振动的环境中也有助于保持一致的液位。这样可以确保液体均匀分布,避免损坏晶圆表面。AQUEOUS TECH SMT-600LD允许最大限度地定制工艺参数,包括不同类型的配方和自动参数调整。此外，该设备还包括一个方便用户使用的图形界面，便于操作和集成到现有生产线中。除了出色的性能外,SMT-600LD的设计还考虑了安全性。它包括紧急停止按钮、水位和温度警报以及各种传感器电路等功能，用于检测操作过程中的任何故障。总体而言，AQUEOUS TECH SMT-600LD是任何其他晶圆加工应用的理想系统。此单元提供卓越的性能、最小的人工和可定制的工艺参数,以确保具有均匀涂层的最高质量的晶片。