二手 AQUEOUS TECH SMT600-LD #9220569 待售

AQUEOUS TECH SMT600-LD是一种晶圆处理设备，设计用于各种应用，包括亚微米光刻、计量、等离子体、蚀刻、清洁和表面制备工艺。SMT600-LD系列系统设计先进,具有开放式体系结构平台,可提供卓越的灵活性和方便的系统升级。计算机控制单元可以精确控制过程参数，并确保在样品制备过程中产生可重复的结果。AQUEOUS TECH SMT600-LD系列是一个独立的模块化机器,具有各种选项,使其能够适应各种工艺要求。模块化设计允许用户根据自己的需求定制工具，并方便扩展。它包括包含晶片卡盘、高精度激光测量资产、双管等离子体蚀刻模型和流体操纵用泵的处理区域。所有部件都安装在不锈钢工作台上，该工作台设计用于抵抗所有形式的腐蚀性化学品，以提供可靠的工作空间。SMT600-LD系列由基于微处理器的高性能控制设备提供动力。该系统还包括用户友好的高级软件，允许用户根据自己的特定需求定制编程。直观的界面提供多种功能,包括设备诊断和数据日志记录。AQUEOUS TECH SMT600-LD系列具有具有通用运动控制设置的高精度对准系统。对于各种晶圆尺寸，机器可以在高达20度的运动自由度下运行。运动控制工具提供对样品位置和方向的高分辨率跟踪和控制。高精度电子设备支持高级温度控制和集成过程定时功能。SMT600-LD的温度稳定性保证为+/-1⁰C预先选定的设定点，综合工艺定时确保适当和快速的沉积、蚀刻和清洁工艺定时。SMT 600-LD系列提供高级特性和功能,非常适合高级研究应用。其用户友好的界面、精确控制系统和模块化设计使其成为研究各种半导体加工技术的理想工具。其坚固的结构确保了可靠的操作，直观的设计使用户能够快速掌握其操作。