二手 AQUEOUS TECH SMT600-LD #9257098 待售

AQUEOUS TECH SMT600-LD是专门为晶圆加工而设计的先进设备。它是半导体和其他晶圆级器件制造商的理想选择。SMT600-LD具有广泛的晶片级加工能力，包括高温和超高真空退火、氧化物和氮化物沉积、蚀刻和图案处理以及离子植入。AQUEOUS TECH SMT600-LD有一个大型液晶显示器和一个自动化的控制系统，能够快速准确地设置流程。该单元具有超温、超压报警器等内置安全功能，并拥有众多通信端口，可连接到其他工艺设备和计算机。SMT600-LD具有许多显着的特性，有助于确保可靠的晶圆处理结果。这台机器是可调整的，以适应不同的晶圆尺寸和处理需要，有一个可定制的晶圆表，以最大的多功能性。其数字压力控制器和真空水平指示器提供精确的控制和监测处理参数。AQUEOUS TECH SMT600-LD配备了先进的真空工具，能够达到10-8 mbar的超高真空水平。这允许需要高真空条件的过程，如氧化和氮化物沉积。该资产还有一些用于热处理的加热工艺室。加热元件是可调的，允许在一系列热过程中达到不同的温度。SMT600-LD还具有提供安全和精确晶圆处理的精密机械卡盘,以及用于精确移动和定位的高度精确的端部效果器。AQUEOUS TECH SMT600-LD型号还配备了用于晶圆处理的自动卡带到卡带处理程序。此处理程序可实现自动卡带加载和卸载,以及自动晶圆定向和基板对准。总体而言，SMT600-LD是一种设计用于晶圆加工的高性能和高度通用的设备。它有很多优点，包括内置的安全特性、可调节的工艺参数、自动化的操控以及超高真空能力。该系统是半导体和其它晶圆级器件制造环境中研究和生产运行的理想选择。