二手 AQUEOUS TECH Trident XLD #9258638 待售

AQUEOUSE TECH Trident XLD是为后端半导体制造和选择性沉积应用而设计的先进晶圆加工设备。它提供了独特的技术组合,旨在最大程度地提高吞吐量、降低污染风险和管理工艺环境。Trident XLD构建在一个高级模块化平台上,该平台专为实现最大的灵活性和可扩展性而设计。该平台主要由晶圆处理系统、沉淀室和清洁子系统三个部分组成。晶圆处理单元可靠地将晶圆从输入转移到输出模块，同时将其保持在所需的质量水平之内。沉积室的设计旨在为选择性沉积应用提供精确、可再现的热环境。清洁子系统包括一个低风险、无污染、基于等离子体的过程来清洁和清除颗粒。AQUEOUSE TECH Trident XLD还具有闭环过程控制机，能够精确控制多达八个轴。该工具为用户提供了功能强大的晶圆处理配方以及快速修改配方内参数的能力。闭环过程控制资产可实现高度精确的层厚度控制、最优层均匀性,并允许快速的配方转换和配方优化。沉积室采用双室布置，以提高晶片的稳定性和温度均匀性。针对串行双面晶片堆迭和高效扩散反应器进入进行了室内优化。该模型还采用了水循环设备，以高效冷却过程，提高产量，延长工具寿命。除了先进的技术外,Trident XLD还具有用户友好的图形用户界面（GUI）,可轻松创建和选择配方。GUI为用户提供详细的过程信息,以及全面的故障诊断和纠正工具。该系统可帮助操作员排除故障并优化流程配方,以提高刀具性能和产量。AQUEOUS TECH Trident XLD为后端半导体制造和选择性沉积应用提供了一个强大、可靠的解决方桉。凭借其先进的功能、模块化的平台、闭环过程控制单元以及易于使用的图形用户界面，这台机器是寻求优化生产过程的制造商的理想选择。