二手 AQUEOUS TECH Trident #293819840 待售

AQUEOUS TECH TRIDENT是下一代晶圆处理设备，设计用于在洁净室环境中提供大量晶圆的自动批处理。该系统采用模块化、可扩展的设计,配有晶片托盘和基板托架,可容纳高达150毫米的晶片尺寸。其直观的用户界面和先进的安全功能为用户提供了可靠、可重复的操作以实现高精度处理。该装置拥有一个自动热处理控制机器，支持多晶硅沉积、光刻沉积、接触形成和蚀刻等不同的热处理。该工具可提供高度精确的温度控制，± 1°C，从而能够精确操纵晶圆尺寸，并能够高度精确地测量接触电阻。该资产还配备了一系列用于光刻的功能，如计算机控制的掩模对准器和前进的运动阶段。Trident还具有各种自动化选项以适应不同的生产要求,包括伺服驱动的输送机、条形码读取器和自动移动夹具。自动化使模型更易于操作和维护,并确保可重复的过程和帮助提高成本效率。该设备还包括一系列先进的安全功能，例如用作工作区障碍物探测器的灯帘，以及自动控制的空气淋浴，使系统不受污染物污染。AQUEOUS TECH TRIDENT是一个多功能晶片处理单元，旨在为用户提供一台可靠、高效的机器，用于在一致、受控的环境中处理晶片。通过模块化设计、定制的自动化选项和高级安全功能,该工具提供了一种可靠且可重复的处理各种晶圆的方法。