二手 AQUEOUS TECH Zero-ion #293657416 待售
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AQUEOUS TECH Zero-ion是由领先的半导体加工产品供应商Aqueous Technologies Corp开发的先进晶圆蚀刻和掺杂处理设备。它使用零离子技术在不使用蚀刻和掺杂气体的情况下蚀刻和掺杂晶片,可以产生高精度和超高纯度晶片。这项技术旨在为关键电子设备应用提供极其精确的晶圆蚀刻和掺杂工艺。AQUEOUS TECH零离子系统配备了专利沉积和蚀刻技术,可实现极高的分辨率和精确的晶圆处理。它具有广泛的流程参数,可以轻松设置和定制这些参数以满足客户的需求。该设备还配备了先进的采样机,可确保精度和可重复性能。该工具还提供了广泛的传递功能和选项,如电气、机械和化学。利用零离子资产进行晶片蚀刻的过程包括首先用溶剂清洗溶液预先清洗晶片。之后,使用合适气体的来源生成等离子体,然后将其用于去除表面污染物。接下来是在液体溶液中进行的湿蚀刻过程。然后加热晶片,除去有机残留物,进行界面清洗。该过程之后是空位补偿和活化掺杂剂,以在晶片上达到所需的性能。使用AQUEOUS TECH零离子模型对晶片进行掺杂是基于化学气相沉积过程,然后使用合适的气体进行蚀刻过程。引发化学反应,在晶片上提供薄膜。然后将源气体用于掺杂过程,并生成用于掺杂晶片的等离子体。一旦掺杂过程完成,膜的结构就会改变,以定制晶圆的性质。零离子设备保证了蚀刻和掺杂工艺的高精度和重复性。它还以出色的热管理系统以及与各种工艺气体的兼容性而闻名。此外,AQUEOUS TECH零离子单元能够在最短的时间内提供所需的质量。这使得它适用于包括集成电路制造在内的多种应用。
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