二手 ASAHI SUNAC AF5400SC #9390976 待售

ASAHI SUNAC AF5400SC是为商业和工业应用而设计的高性能晶圆处理设备。该系统能够处理多达4英寸的晶片，具有广泛的晶片处理能力，包括湿蚀刻、干蚀刻、自旋蚀刻、光刻、抗剥离和其他重要工艺。该装置采用了最先进的电化学嵌入式电池配置，具有5kW的、可粗调的ICP（感应耦合等离子体）电源。该机器能够在晶圆的整个表面上进行平行、均匀的等离子体处理。其电池还采用了分流技术，以防止不同气体的交叉污染。腔盖具有快速打开机制，便于进入腔室，提高产量和吞吐量。该工具还具有高级流程控制和监视功能。四气体进气口提供稳定和可重现的条件，而先进的室内压力适应资产则实时调整工艺条件。这样可以实现精确准确的工艺条件，最大限度地减少腔室污染，最大限度地减少频繁维护的需要。该模型还具有一系列额外的传感器，包括一个石英晶体微平衡，它监测蚀刻速率，确保一个一致和可重现的过程。该设备还拥有两个高效直流溅射源。这些光源具有高度均匀的沉积，边缘的薄膜厚度增益最小，使得在蚀刻过程中能够使用较小的口罩。这进一步提高了系统的精度和准确性。AF5400SC是提供精确、高精度晶圆处理服务的各种工业和商业应用的理想单元。该机能够严密的过程控制、优异的产量、高通量的操作，同时仍然保持安全方便的使用。通过提供最高质量的晶圆处理功能,该工具是许多行业中许多运营商的首选。