二手 ASTEX AX 7685 #293642868 待售

ASTEX AX 7685是为清洁、涂层和半导体制造等多种晶圆加工应用而设计的最先进的晶圆加工设备。该系统可容纳200毫米以下的晶圆尺寸，设计用于各种不同的工艺室，包括等离子体蚀刻、沉积、氧化和湿暴露系统。AX 7685使用户能够快速高效地处理晶片,同时保持出色的精度和控制。该单元由多区直线输送机（LTS）、等离子体蚀刻室、洪水室、工艺室四个主要部件组成。LTS旨在通过该工具安全可靠地运输晶片，从而消除任何交叉污染的风险。等离子体蚀刻室利用与基于等离子体的加工相关的较高蚀刻速率来提高蚀刻均匀性并降低特征边缘。泛光室使用LED阵列,以确保晶片上的工艺光刻一致。最后，工艺室允许温度、压力和工艺配方控制，为用户提供晶圆加工的最大灵活性。ASTEX AX 7685提供了创新的功能,以确保晶圆得到一致的最高质量的处理。该资产的可用工艺面积为800 cm2,精度为2.5µm ±,为用户提供了最高的分辨率和准确性。此外，该模型旨在减少环境污染的影响，如空气-尘埃颗粒、静电和晶圆加工过程中的振动。而且，为了确保最大限度的安全和准确性，设备还配备了一个全面的监控系统来跟踪晶圆级的过程数据和安全报警。AX 7685是一种功能强大且可靠的晶圆处理系统,旨在在大批量生产环境中工作,同时保持最高精度和准确性。该单元可以量身定制,以满足用户应用程序的特定要求,从而确保最大程度的灵活性和成本效益。ASTEX AX 7685具有处理大小晶片的能力,是提高晶片加工能力和提高晶片质量的理想选择。